Н. А. Родионова, И. Н. Шмидко, Е. В. Родионов, “Особенности получения пленок хрома, окиси хрома и оксикарбида хрома по МОС-технологии”, Междунар. науч.-исслед. журн., 2016, выпуск 3-2(45),страницы 63

ФИЗИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЕ НАУКИ

Особенности получения пленок хрома, окиси хрома и оксикарбида хрома по МОС-технологии

Н. А. Родионова^a, И. Н. Шмидко^a, Е. В. Родионов^b

^a Институт физики полупроводников им. В. Е. Лашкарева НАН Украины, г. Киев
^b Национальный университет пищевых технологий Министерства образования и науки Украины

Аннотация: Работа посвящена технологии получения пленок оксида и оксикарбида хрома из металлорганических соединений с использованием окислителя. В работе описываются созданные лабораторные установки для получения пленок на основе хрома и возможного их легирования. Проведенные исследования по изменению соотношения МОС-хром–окислитель, а также легирование рядом примесей дало возможность изменить микротвердость получаемых пленок.

Ключевые слова: оксид и оксикарбида хрома, металлорганические соединения.

DOI: 10.18454/IRJ.2016.45.187