Неравновесная СВЧ-плазма низкого давления в научных исследованиях и разработках микро- и наноэлектроники

Рассмотрены достоинства и преимущества использования для реализации нанотехнологий высокоионизованной низкоэнергетичной СВЧ-плазмы низкого давления. Показано, что по своим функциональным возможностям одна установка на основе СВЧ-плазмы может заменить 4-5 установок с обычным высокочастотным возбуждением газового разряда.