RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика // Архив

Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 2019, том 19, выпуск 1, страницы 68–75 (Mi isuph50)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

Твердотельная электроника, микро- и наноэлектроника

Углеродный пленочный нанокомпозит для сильноточных полевых источников электронов

Р. К. Яфаров, В. Я. Шаныгин, Д. В. Нефедов

Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: Сформулированы требования и проблемы при создании катодных материалов для сильноточной эмиссионной электроники. Показано, что для создания автокатодов с плотностью тока до 100 А/$см^2$ и выше необходима разработка новых наноструктурных углеродных материалов с поверхностной плотностью наноалмазных острий не менее чем 106–108 $см^{-2}$. С использованием неравновесной микроволновой плазмы низкого давления определены области режимов для получения углеродных пленочных покрытий, содержащих алмазную и графитовую фазы в различных объемных соотношениях. Обнаружен эффект самоорганизации алмазных нанокристаллитов в графитовых и полимероподобных углеродных пленках при осаждении в микроволновой плазме паров этанола низкого давления. Установлено экспериментально и затем обосновано с использованием кластерной модели структуры аморфного углерода влияние водорода на автоэмиссионные характеристики полученных алмазографитовых пленочных структур. Получены ленточные источники холодных электронов с плотностью автоэмиссионного тока в импульсе более 100 А/$см^2$.

Ключевые слова: микроволновая плазма, алмазные кристаллиты, самоорганизация, полевая эмиссия электронов.

УДК: 537.533.2

DOI: 10.18500/1817-3020-2019-19-1-68-75



© МИАН, 2024