Аннотация:
Разработана аналитическая процедура синергетического синтеза закона управления
процессом роста тонких пленок из многокомпонентного пара, обеспечивающего генерацию
различных колебательных режимов изменения концентрации зародышей с возможностью
варьирования частоты, амплитуды и формы колебаний. Синтезированный закон управления способен существенно повысить эффективность управляемых процессов выращивания
тонких пленок для различных технических приложений.
Ключевые слова:регулярные колебания, модель синтеза тонких пленок из многокомпонентного пара, динамическая система, управление, синергетика, обратная связь.