Источник жесткого ультрафиолетового излучения на основе ЭЦР разряда

Обсуждается источник жесткого (экстремального) ультрафиолетового излучения на основе разряда низкого давления, поддерживаемого в магнитной ловушке мощным электромагнитным излучением миллиметрового диапазона длин волн в условиях электронно-циклотронного резонанса. В таком разряде эффективно образуются и возбуждаются многозарядные ионы (использовались ионы олова, инжектируемые в ловушку из вакуумно-дугового разряда), линейчатое излучение которых лежит в требуемом диапазоне длин вон. В предварительных экспериментах мощность излучения с длиной волны 13,5 нм в полосе $\pm$ 1% достигала 50 Вт с к.п.д. преобразования поглощенного в плазме СВЧ излучения в жесткий ультрафиолет на уровне 1%.