Аннотация:
В структурах Si/Si$_{1-x}$Ge$_{x}$:Er/Si достигнута инверсная населенность уровней энергии ионов Er$^{3+}$ при передаче энергии электронного возбуждения от полупроводниковой матрицы. Анализ кинетик фотолюминесценции на длине волны 1.54 мкм свидетельствует о переводе в возбужденное состояние до 80% ионов, что в совокупности с высокой интенсивностью свечения демонстрирует перспективность структур такого типа для создания лазера, совместимого с планарной кремниевой технологией.