Дрейф адатомов на поверхности кремния (111) в условиях электромиграции

Методами in situ сверхвысоковакуумной отражательной электронной микроскопии и ex situ атомно-силовой микроскопии показано существование дрейфа адатомов по поверхности, возникающего под действием электрического тока, нагревающего образец, в условиях сублимации, гомоэпитаксиального роста и квазиравновесия на поверхности кремния (111) при температурах выше $1050\,^\circ$С. Установлено, что направление дрейфа адатомов не зависит от величины пересыщения на поверхности. При этом дрейф адатомов происходит в сторону нижележащих террас: при $1050^0$–$1240\,^\circ$С в условиях резистивного нагрева образца постоянным электрическим током – в направлении вверх по ступеням, а при $1250$–$1350\,^\circ$С – в направлении вниз по ступеням. Наличие дрейфа адатомов свидетельствует о существовании у адатомов эффективного заряда, оценка величины которого при $1280\,^\circ$С составила $0.07\pm0.01$ от величины заряда электрона.