RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики // Архив

Письма в ЖЭТФ, 2003, том 78, выпуск 5, страницы 737–741 (Mi jetpl2595)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Кавитационный механизм распыления материалов медленными многозарядными ионами

В. С. Воробьевa, В. С. Лисицаb, С. П. Малышенкоc

a Институт теплофизики экстремальных состояний Объединенного института высоких температур РАН, г. Москва
b Российский научный центр "Курчатовский институт", г. Москва
c Институт высоких температур РАН, г. Москва

Аннотация: Развит термодинамический подход к распылению материалов медленными многозарядными ионами, основанный на кавитационном механизме разрушения приповерхностного слоя материала. Показано, что сильное электрическое поле медленного высокозаряженного иона, приближающегося к поверхности диэлектрика, приводит к формированию растянутой метастабильной приповерхностной области, в которой спонтанно могут возникнуть образующие перколяционный кластер каверны, что приводит к разрушению этой области (кавитационная электровзрывная эрозия). Найденные универсальные зависимости объема области разрушения от заряда и свойств поверхности находятся в качественном согласии с экспериментальными данными по распылению поверхностей LiF и SiO$_2$ медленными ионами аргона и ксенона.

PACS: 52.77.Bn, 81.65.Cf

Поступила в редакцию: 24.07.2003


 Англоязычная версия: Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2003, 78:5, 291–295

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024