К. А. Насыров, Ю. Н. Новиков, В. А. Гриценко, С. Ю. Юн, Ч. В. Ким, “Многофононная ионизация глубоких центров в аморфном нитриде кремния: эксперимент и численное моделирование”, Письма в ЖЭТФ, 2003, том 77, выпуск 7,страницы 455

Эта публикация цитируется в 12 статьях

Многофононная ионизация глубоких центров в аморфном нитриде кремния: эксперимент и численное моделирование

К. А. Насыров^a, Ю. Н. Новиков^b, В. А. Гриценко^a, С. Ю. Юн^c, Ч. В. Ким^c

^a Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
^b Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
^c Samsung Advanced Institute of Technology

Аннотация: В широком диапазоне электрических полей и температур экспериментально исследована проводимость аморфного нитрида кремния. Результаты эксперимента находятся в количественном согласии с теорией многофононной ионизации глубоких центров для биполярной модели проводимости. Наилучшее согласие между экспериментом и расчетом получено при одинаковых параметрах электронных и дырочных глубоких центров.

PACS: 77.22.Jp, 77,55.+f, 77.84.Bw

Поступила в редакцию: 03.03.2003