Магнитные эффекты в окислении кремния

Методом масс-спектрометра обнаружено, что магнитное поле ускоряет окисление поверхности кристаллов кремния. Скорость окисления зависит также и от ядерного спина кремния: атомы с магнитными ядрами ($^{29}$Si) окисляются почти вдвое быстрее, чем атомы с бесспиновыми, немагнитными ядрами ($^{28}$Si и $^{30}$Si). Оба эффекта – магнитно-полевой и магнитно-изотопный – надежно доказывают, что окисление кремния является спин-селективной реакцией, в которой участвуют радикалы и радикальные пары как промежуточные парамагнитные частицы. Обсуждается спин-селективный, магнитночувствительный механизм окисления.