Особенности структуры и дефектных состояний в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния

Методами просвечивающей электронной микроскопии, спектроскопии электронного парамагнитного резонанса и рамановской спектроскопии исследованы структурные и электронные свойства тонких пленок гидрогенизированного полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения смеси газов водорода (H$_2$) и моносилана (SiH$_4$). Определено, что исследованные пленки состоят из аморфной фазы, содержащей кремниевые нанокристаллические включения со средним размером порядка $4$–$5$ нм и объемной долей $10\%$. При исследовании ЭПР-спектроскопии в пленках гидрогенизированного полиморфного кремния обнаружен сигнал, приписываемый электронам, захваченным в хвост зоны проводимости микрокристаллического кремния. Показано, что введение в пленки аморфного кремния небольшой доли нанокристаллов неаддитивным образом изменяет электронные свойства материала.