П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль, “Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния”, Письма в ЖЭТФ, 2009, том 89, выпуск 2,страницы 80

Эта публикация цитируется в 4 статьях

КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ

Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния

П. Г. Сенников^a, С. В. Голубев^a, В. И. Шашкин^b, Д. А. Пряхин^b, М. Н. Дроздов^b, Б. А. Андреев^b, Ю. Н. Дроздов^b, А. С. Кузнецов^c, Х.-Й. Поль^d

^a Институт прикладной физики РАН
^b Институт физики микроструктур РАН
^c ЗАО ``Астор"
^d VITCON Projeсtconsult GmbH, D-07743 Jena, Germany

Аннотация: Сообщается о результатах получения слоев кремния методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния – водород. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции, рамановской спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером кристаллических областей от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса. Образцы обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре.

PACS: 52.77.Dq, 61.46.Hk, 73.63.Bd, 81.07.Bc

Поступила в редакцию: 02.12.2008