Механизм низкотемпературной поверхностной самодиффузии, активированной ионной бомбардировкой

На атомном уровне исследованы элементарные акты эрозии поверхности при низких температурах под действием бомбардировки ускоренными атомами и ионами гелия. Установлено, что нарушение регулярности расположения поверхностных атомов связано с выделением энергии образования междоузельных атомов при выходе их на поверхность, часть которой расходуется на образование поверхностных дефектов, находящихся в возбужденном состоянии. Экспериментально определена энергия возбуждения адатомов, обеспечивающая возможность протекания диффузионных процессов ближнего порядка.