Энергетические спектры ионов и энергетическая зависимость степени ионизации атомов, эмитированных из металлов в нелинейном режиме распыления

Получены аналитические формулы для расчета энергетического спектра $F^+(E)$ атомных ионов и энергетической зависимости степени ионизации $\alpha^+(E)$ атомов, распыленных из металлов в режиме нелинейных каскадов столкновений. Сравнение зависимостей $\alpha^+(E)$ для линейного и нелинейного режимов распыления демонстрирует существенное различие механизмов, ответственных за формирование зарядового состава атомных ионов.