Цилиндрические микрорезонаторы с квантовыми точками InAs/GaAs – моделирование и анализ оптических характеристик

Представлены результаты исследований оптических характеристик структур цилиндрических вертикальных микрорезонаторов с AlGaAs распределенными брэгговскими отражателями и InAs/GaAs квантовыми точками, предназначенных для изготовления источников одиночных фотонов. Методом конечных разностей во временной области выполнено численное моделирование эффектов влияния на величину фактора Парселла и эффективности вывода излучения таких параметров, как наклон боковых стенок, частичное окисление AlGaAs слоев и отклонение расположения квантовых точек от центральной оси микрорезонатора, а также определены допустимые диапазоны реализации этих параметров, для цилиндрических вертикальных микрорезонаторов спектрального диапазона 920 нм. Сравнение результатов расчетов, выполненных с использованием уточненных значений показателей преломления используемых материалов при криогенных температурах, и измеренных характеристик изготовленных микрорезонаторных структур подтвердило адекватность используемых моделей.