Влияние кристаллизации на 3D структуру пор в сегнетоэлектрических пленках PZT

Впервые методом ФИП-РЭМ нанотомографии визуализирована структура пористых пленок титаната-цирконата свинца, полученного методом химического осаждения из растворов с добавлением порогена Brij76. Приведены методики определения связности пор и их распределения. Показано, что пленки обладают высокосвязной системой пор с их закономерным распределением в подслоях, сформированной в процессе многослойного нанесения и последующей кристаллизации.