Features of the metallization influence on phase velocities of acoustic waves in piezoelectric plates

В работе выполнен анализ влияния нагрузки в виде двух металлических слоев на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны Лэмба и $SH$–волны в структурах вида "Me/ZnO/Me" и "Me/AlN/Me" в зависимости от частоты упругой волны и отношения толщин слоев металла и пьезоэлектрика. В качестве материалов металлического слоя (Me) использовали алюминий (Al), молибден (Mo) и платину (Pt). Только моды упругой волны Лэмба обладают локализованными максимумами чувствительности $S$ для всех типов структур. Системы с низкими значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями $S$ при металлизации тонкими слоями, а также имеют минимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны. Системы с максимально различными значениями акустических импедансов материалов слоев и пластин обладают максимальными значениями $S$ при металлизации толстыми слоями, а также имеют максимальные отличия профилей компонент векторов смещений упругой волны.