RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1987, том 57, выпуск 12, страницы 2340–2345 (Mi jtf1015)

Квантовая электроника

Иммерсионный метод измерения разностного рельефа

Е. А. Жукова, Ф. А. Митина, Ю. И. Островский, Н. О. Рейнганд

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Аннотация: Рассматривается иммерсионный метод измерения разности рельефа поверхностей, основанный на том, что внутренняя поверхность окна иммерсионной кюветы изготавливается с рельефом, обратным рельефу эталона. Рассматривается также основанный на тех же принципах метод измерения градиента рельефа.

УДК: 535.417

Поступила в редакцию: 22.07.1986



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024