Краткие сообщения

Формирование областей неоднородной компенсации в процессе получения планарных кремниевых $p{-}n$ переходов

Н. Т. Баграев, В. А. Машков, Р. П. Сейсян, В. Л. Суханов, Н. М. Шмидт

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 25.09.1984

Реферативные базы данных:

•