Аннотация:
Предложена простая модель приэлектродных слоев,
которая позволяет объяснить основные экспериментально наблюдаемые
свойства ВЧ разряда при средних давлениях газа, в частности наличие
нормальной плотности тока, ее зависимость от давления газа, ограничение
области существования слаботочного режима разряда по давлению и величине
межэлектродного зазора. Вычисленные значения нормальной плотности тока,
падения напряжения в приэлектродных областях и толщины приэлектродного
слоя близки к экспериментально наблюдаемым.