Саратовский государственный университет им. Н. Г. Чернышевского
Научно-исследовательский институт механики и физики
Аннотация:
Рассматривается возможность одновременного определения
электростатического заряда, толщины, диэлектрической проницаемости слоя,
а также расстояния от слоя до зонда и его вариаций методом электростатической
индукции. Анализируются два способа формирования электрических сигналов в цепи
зонда с применением параметрической модуляции, основанные соответственно на
возбуждении в системе квазистатического поля нескольких частот или одной
частоты. Для двух простых случаев составлены и решены системы алгебраических
уравнений. Искомые параметры выражены через амплитуды и частоты возбуждающих
и индуцированных напряжений и токов. Оценены погрешности определения параметров
квазистатической электрической системы, обсуждается структурная схема
экспериментальной установки, реализующая многочастотный вариант метода.