Краткие сообщения

Коротковолновая УФ фотолитография на основе сильноточных плазмодинамических разрядов магнитоплазменного компрессора

Н. П. Козлов, А. С. Камруков, Г. Н. Кашников, В. К. Орлов, Ю. С. Протасов, И. Н. Рубцов, В. В. Ульянов, А. Н. Якименко

Реферативные базы данных:

•