Исследование функции распределения электронов по энергиям в плазме высокочастотного разряда в смеси инертных газов

Измерены функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) в плазме высокочастотного (ВЧ) разряда в смеси неона с аргоном. Рассчитаны скорости различных процессов ионизации и энергетические потери электронов в объеме. Проведено сравнение экспериментально полученных ФРЭЭ с рассчитанными по нелокальной теории. Проведено экспериментальное исследование влияния ВЧ напряжения в зондовой цепп на измерение ФРЭЭ.