Краткие сообщения
Эффект фототравления позитивных резистов при воздействии мощного
импульсного рентгеновского излучения лазерной плазмы
В. А. Бойко, А. Я. Вайнер, С. А. Киреева, В. Ф. Лиманова, И. Ю. Скобелев, А. Я. Фаенов, С. Я. Хахалин
Реферативные базы данных:
© , 2025