Расчет аберраций призменных анализаторов энергии заряженных частиц
матричным методом
М. Ш. Исмагулова, В. А. Расторгуев
Аннотация:
Дается обоснование для расчета матричным методом
аберраций до четвертого порядка призменных анализаторов энергии заряженных
частиц. Показано, что при определенных условиях матричное преобразование
125-го порядка разделяется на два, порядок которых равен 56 и 69. При
этом достаточно знать матрицы трех типов, соответствующие диспергирующей
отклоняющей системе, линзе и пространству, свободному от поля. Приводятся
выражения базисных коэффициентов для матриц свободного от поля пространства
и безаберрационной осесимметричной электростатической линзы. Указываются
аналитический вид базисных коэффициентов для диспергирующей двумерной системы
и методы их вычисления. Дается способ расчета небазисных коэффициентов матриц
для всех электронно-оптических элементов энергоанализатора.