Аннотация:
Описана конструкция сверхвысоковакуумного гелиевого
заливного криогенного насоса с охватываемой зоной откачки, имеющего
в несколько раз большую производительность по сравнению с крионасосами
известной конструкции с подсоединительными фланцами того же проходного
сечения. Приведены основные характеристики крионасоса и снятые на нем
изотермы адсорбции Н$_{2}$ и Не на конденсатах N$_{2}$ и Аr при 4.2
и 2 K в области равновесных давлений $10^{-8}{-}10^{-4}$ Па.
Быстрота действия насоса на входном фланце Ду 340
при диаметре корпуса 0.5 м по N$_{2}$ — 5.5 м$^{3}$/с,
по Н$_{2}$ — 20 м$^{3}$/с, по Не — 11.5 м$^{3}$/с,
а непосредственно в охватываемой зоне откачки по N$_{2}$ — 11 м$^{3}$/с
и по Н$_{2}$ — 35 м$^{3}$/с. Насос наиболее эффективно может быть использован в установках
молекулярно-пучковой эпитаксии, а другие его модификации — в ускорителях
заряженных частиц, имитаторах космического пространства, установках
термоядерного синтеза и других объектах с объемами рабочих камер от 0.1
до 100 м$^{3}$ и рабочими давлениями от $10^{-3}$ до $10^{10}$ Па.