В. П. Агеев, А. Д. Ахсахалян, С. В. Гапонов, А. А. Горбунов, В. И. Конов, В. И. Лучин, “Влияние длины волны лазерного излучения на энергетический состав эрозионной плазмы”, ЖТФ, 1988, том 58, выпуск 5,страницы 930

Влияние длины волны лазерного излучения на энергетический состав эрозионной плазмы

В. П. Агеев, А. Д. Ахсахалян, С. В. Гапонов, А. А. Горбунов, В. И. Конов, В. И. Лучин

Аннотация: Экспериментально исследовался разлет в вакуум плазмы, образующейся при воздействии излучения ХеСl$^{*}$ лазера на твердую мишень. Определен энергетический состав продуктов эрозии Al, Ti, Cu, W и GaAs в диапазоне лазерных интенсивностей ${q\sim0.1-1\,\text{ГВт/см}^{2}}$. На основании сравнения полученных результатов с данными, известными для ИК диапазона облучения мишеней, показана перспективность использования эксимерных лазеров в технологии вакуумного напыления пленок.