Распыление металла быстрыми многозарядными ионами

Предложен новый механизм распыления металла быстрыми многозарядными ионами в результате возбуждения электронной подсистемы. Ионы поверхности в области возбуждения могут набрать энергию в электрическом поле двойного слоя, превышающую энергию связи.