Аннотация:
Рассмотрена двумерно-неоднородная анодная область тлеющего разряда
в условиях нелокальности функции распределения электронов. Экспериментально
исследованы пространственные распределения электронов по энергии, а также
потенциала электрического поля и свечения различных линий вблизи анода. Рассмотрено
формирование слоя объемного заряда в пролетном и столкновительном режиме и распределение
параметров прианодной плазмы при заданном профиле потенциала. Разработанная
кинетическая теория позволяет объяснить тонкие кинетические эффекты,
наблюдаемые в эксперименте.