Структура и свойства пленок CdTe, полученных синтезом
из металлоорганических соединений на GaAs
Р. В. Абдуллин, Ю. В. Аграфенин, А. К. Гутаковский, И. Г. Неизвестный, И. В. Сабинина, В. Н. Шерстякова, В. Н. Шумский
Аннотация:
Исследованы особенности структуры и свойств пленок CdTe
на (100) GaAs, полученных синтезом из МОС при больших скоростях роста.
Структурное совершенство эпитаксиальных слоев CdTe изучалось с помощью
рентгенограмм качания, электронографии и просвечивающей электронной
микроскопии. Показано, что пленки CdTe являются монокристаллическими,
с ориентацией (100) и по качеству не уступают объемным образцам. Пленки имели
$n$-тип проводимости, удельное сопротивление
$10^{5}{-}5\cdot 10^{6}\,\text{ом}\cdot\text{см}$ подвижность
$870\,\text{см}^{2}/\text{В}\cdot\text{с}$
при концентрации $1.5{-}2\cdot10^{9}\,\text{см}^{-3}$. Из измерения
спектров фотолюминесценции при $77^{\circ}$ слоев, выращенных при разных
температурах, определены полосы излучения, связанные с вакансиями кадмия,
обнаружена ранее не описанная полоса излучения с
${h\nu\simeq1.18}$ эВ.