С. С. Борисова, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, В. Е. Левашов, И. И. Ляховская, И. Ф. Михайлов, А. Г. Пономаренко, С. И. Сагитов, А. И. Федоренко, В. А. Чирков, А. С. Шулаков, “Исследование коэффициентов отражения многослойных титан-кремниевых рентгеновских зеркал при нормальном падении”, ЖТФ, 1989, том 59, выпуск 3,страницы 78

Твердотельная электроника

Исследование коэффициентов отражения многослойных титан-кремниевых рентгеновских зеркал при нормальном падении

С. С. Борисова, И. В. Кожевников, В. В. Кондратенко, В. Е. Левашов, И. И. Ляховская, И. Ф. Михайлов, А. Г. Пономаренко, С. И. Сагитов, А. И. Федоренко, В. А. Чирков, А. С. Шулаков

Аннотация: Методом электронно-лучевого испарения синтезированы многослойные зеркала, состоящие из слоев титана и кремния, и исследованы их дисперсионные и угловые свойства в широком диапазоне длин волн ${\lambda\sim12{-}35}$ нм. Измеренные коэффициенты отражения достигают 27.4%. Подобные многослойные покрытия могут быть использованы при создании солнечных MP телескопов и систем MP накачки УФ лазеров.
Предложен и осуществлен метод измерения коэффициентов отражения от многослойных зеркал при нормальном падении, основанный на сравнении спектров MP источника (лазерной плазмы), и изображения этого источника, полученного с помощью фокусирующего многослойного зеркала. Угол падения излучения на зеркало в эксперименте составлял около $0.5^{\circ}$, это значение в принципе может быть уменьшено до $0.1^{\circ}$.