Тонкопленочные высокочастотные сквиды с микромостиковыми контактами

Сообщается об изготовлении пленочных сверхпроводящих микромостиков следующими способами: а) напылением через металлическую маску (мостики переменной толщины); б) формированием структуры с помощью электронной литографии (мостики Дайема): в) формированием структуры с использованием рельефа подложки и электронной литографии (мостик сверхпроводник$-$нормальный металл$-$сверхпроводник). На основе полученных структур реализованы гибридный и пленочный ВЧ сквиды.