Расчет МДП структуры с квазиодномерным электронным газом
С. В. Козырев, В. Ю. Осипов
Аннотация:
Полный расчет МДП структуры с квазиодномерным электронным газом в широком
диапазоне температур возможен лишь в результате решения специфической задачи
двумерного нелинейного экранирования. В области очень слабого обогащения
возможен приближенншй расчет распределения потенциала в структуре, так как
вклады неподвижных зарядов ионизованных доноров и подвижных зарядов носителей
удается разделить. На основе проведенных в больцмановской статистике расчетов
и при использовании ряда допущений проанализированы структуры на
высоколегированных подложках ($10^{17}\,\text{см}^{-3}$) с металлургической
шириной канала 0.5$-$0.6 мкм. Сделан вывод о возможности создания в режиме слабого обогащения сверхузких
квазиодномерных каналов и для делокализованных носителей.