Распределение дислокаций несоответствия при частичной релаксации
напряжений в гетероэпитаксиальной системе
А. А. Жигалко
Аннотация:
Рассмотрены теоретически условие инжекции дислокаций
несоответствия и их распределение при частичной пластической релаксации
напряжений в гетероэпитаксиальной системе с большими барьерами Пайерлса,
когда источником дислокаций является край эпитаксиального слоя, а граница
раздела их плоскостью скольжения. Пластическую релаксацию затрудняют
три фактора: силы изображения, удерживающие дислокацию у края, низкая
подвижность дислокаций в решетке с большими барьерами Пайерлса и стартовое
напряжение ($\tau_{0}$). Фронт пластической релаксации медленно с монотонно
убывающей скоростью движется к середине слоя и при ${\tau_{0}\ne0}$
останавливается на некотором удалении от края. На ряде примеров
рассматривается возможность получения частично бездислокационной границы
раздела при толщине слоя, многократно превышающей критическую.