Расчет зарядового распределения ионов
в электронно-циклотронно-резонансных источниках ионов
Г. Д. Ширков
Аннотация:
Предложен новый метод расчета зарядовых распределений ионов
в плазме источников ионов на электронно
циклотронном резонансе (ECR). Система уравнений баланса для плотностей
всех зарядовых состояний ионов и
нейтралов любого из элементов периодической системы в
стационарном случае решается как система нелинейных
алгебраических уравнений. Это позволяет учитывать
двухкратные ионизацию и перезарядку и при необходимости ввести в рассмотрение
более сложные многократные и другие столкновительные процессы между
компонентами плазмы. Полная система уравнений баланса и условие
зарядовой нейтральности плазмы устанавливают связь
между плотностями нейтралов, ионов и электронов в ECR-источнике.
Температура ионов определяется как
результат нагрева горячими электронами за время жизни
ионов в плазме. Показано, что в рамках предложенной модели зарядовое распределение ионов
зависит главным образом от температуры электронов. Выход ионов высокой зарядности и средний заряд ионов в плазме увеличиваются
с ростом температуры электронов, а также с увеличением порядкового номера
элемента. В то же время в отличие от расчетов, сделанных
другими авторами, увеличение плотности электронов
практически не влияет на зарядовое распределение ионов, но приводит к
сильному росту полного ионного тока из ECR-источника. Выполнены расчеты зарядового распределения и выхода
ионов для ECR-источника на частоту около 15 Ггц, сооружаемого в Дубне.