Л. А. Фомин, И. В. Маликов, В. А. Березин, А. Э. Рассадин, А. Б. Логинов, Б. А. Логинов, “Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга”, ЖТФ, 2021, том 91, выпуск 10,страницы 1466

Эта публикация цитируется в 1 статье

XXV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Н. Новгород, 9--12 марта 2021 г.
Твердое тело

Сравнение СТМ и АСМ измерений тонких пленок Mo с моделью Кардара–Паризи–Жанга

Л. А. Фомин^a, И. В. Маликов^a, В. А. Березин^a, А. Э. Рассадин^b, А. Б. Логинов^c, Б. А. Логинов^d

^a Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
^b Национальный исследовательский университет "Высшая школа экономики", Нижний Новгород, Россия
^c Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова
^d Национальный исследовательский университет "МИЭТ"

Аннотация: Методами сканирующей туннельной микроскопии и атомно-силовой микроскопии исследован рельеф эпитаксиальных пленок Mo малых толщин, выращенных на $R$-плоскости сапфира. Найдена область параметров модели эволюции рельефа поверхности пленок Кардара–Паризи–Жанга, в которой она соответствует полученным экспериментальным результатам.

Ключевые слова: эпитаксиальные пленки, тугоплавкие металлы, шероховатая поверхность, принцип максимума Олейник–Лакса, преобразование Коула–Хопфа.

Поступила в редакцию: 29.04.2021
Исправленный вариант: 29.04.2021
Принята в печать: 29.04.2021

DOI: 10.21883/JTF.2021.10.51358.130-21