Влияние параметров метода PECVD на рост углеродных нанотрубок для устройств нанопьезотроники

Представлены результаты экспериментальных исследований влияния температуры роста и толщины каталитического слоя на геометрические и структурные параметры углеродных нанотрубок (УНТ). Показано, что применение подслоя на основе TiN позволяет обеспечить низкое удельное сопротивление при непосредственном выращивании УНТ на проводящем контакте. Установлено, что для формирования лучшего пьезоэлектрического отклика необходимо формировать наиболее дефектные УНТ. Показано, что степенью дефектности УНТ возможно контролируемо управлять в процессе их выращивания. Установлена связь между геометрическими и структурными параметрами УНТ, влияющими на пьезоэлектрический отклик. Показана потенциальная применимость УНТ для создания на их основе устройств нанопьезотроники (наногенераторов, нанохарвестеров энергии).