Создание функциональных наноструктур под действием ионного облучения

Описан разработанный в НИЦ “Курчатовский институт” метод создания различных функциональных наноструктур с использованием ионного облучения широким пучком. В качестве примера продемонстрировано формирование интегрированного сопротивления в нанопроводе, изготовленном из низкотемпературного сверхпроводника NbN. Показана возможность изготовления при комнатной температуре изолирующего слоя оксида алюминия толщиной 15 nm на поверхности алюминия путем его облучения ионами кислорода с энергией 0.2 keV.