Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей

Описаны метод изготовления и результаты исследований линзового корректора, преобразующего сферический расходящийся фронт в плоский и предназначенного для изучения плоских поверхностей в составе интерферометра с дифракционной волной сравнения. Особенностью корректора является использование асферической выпуклой поверхности с максимальным отклонением от ближайшей сферы $\sim$200 $\mu$m. Приведены первые экспериментальные результаты, указывающие на перспективы применения ионно-пучковой обработки для улучшения качества волнового фронта. После процедуры ионно-пучковой обработки аберрации по всей апертуре корректора уменьшились более чем в 4 раза и составили по параметру перепада высот PV = 207 nm ($\sim\lambda$/3) и среднеквадратичного отклонения (СКО) = 19.2 nm ($\sim\lambda$/33). На площади диаметром 80% аберрации упали до нанометрового уровня: PV = 65 nm ($\sim\lambda$/10) и СКО = 8.3 nm ($\sim\lambda$/76).