RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2021, том 91, выпуск 7, страницы 1164–1173 (Mi jtf4978)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика низкоразмерных структур

Стабильность сенсоров паров жидких углеводородов на основе тонких пленок SnO$_{2}$, модифицированных различными катализаторами

Н. К. Максимоваa, Б. О. Кушнаревb, Л. С. Хлудковаa, А. А. Бирюковa, Е. Ю. Севастьяновa, Е. В. Черниковa

a Сибирский физико-технический институт им. акад. В. Д. Кузнецова при Томском государственном университете
b Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", Томский государственный университет

Аннотация: Исследованы микроструктура, состав, электрические и газочувствительные характеристики сенсоров на основе тонких нанокристаллических пленок SnO$_{2}$ с различными нанесенными на поверхность (Pt/Pd, Au) и введенными в объем (Au, Ni, Co) катализаторами в режимах постоянного и импульсного нагрева. Для изучения микроморфологии и дефектов структуры в зависимости от состава наноразмерных пленок использовали атомно-силовую микроскопию и лазерную рамановскую спектроскопию. Показано, что сенсоры с введенными в объем добавками Au и Co позволяют обнаруживать пары жидких углеводородов (на примере авиационного керосина) на уровне концентраций 5 ppm (0.1 предельно допустимой концентрации) и характеризуются повышенной стабильностью параметров в процессе испытаний при длительном воздействии паров, а также в условиях меняющейся влажности. Наибольшим быстродействием после испытаний отличаются сенсоры c добавками Au и Co в объеме и нанесенными на поверхность пленок сверхтонкими двухслойными катализаторами Pt/Pd.

Ключевые слова: газовые сенсоры, диоксид олова, катализаторы, золото, никель, кобальт, комбинационное рассеяние, авиационный керосин, стабильность.

Поступила в редакцию: 22.12.2020
Исправленный вариант: 10.02.2021
Принята в печать: 23.02.2021

DOI: 10.21883/JTF.2021.07.50958.349-20


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2021, 66:8, 999–1008

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024