Профильный анализ пленок ферритов-гранатов методом оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда

Представлены результаты экспериментов по применению метода оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда для профильного анализа вакуумно-осажденных одно- и двуслойных пленок многокомпонентных ферритов-гранатов различного состава до и после кристаллизационного отжига. Выявлено наличие внутренних и внешних переходных слоев, и исследована модификация их элементного состава при кристаллизации и различной последовательности синтеза отдельных компонент в феррит-гранатовых гетероструктурах.