С. Ф. Белых, А. Д. Беккерман, Д. А. Богуславский, А. Б. Толстогузов, “Компактный ускоритель ионов для ионно-лучевых технологий”, ЖТФ, 2021, том 91, выпуск 1,страницы 120

Электрофизика

Компактный ускоритель ионов для ионно-лучевых технологий

С. Ф. Белых^a, А. Д. Беккерман^b, Д. А. Богуславский^c, А. Б. Толстогузов^def

^a Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет)
^b Shhulich Faculty of Chemistry, Technion – Israel Institute of Technology, Haifa 32000 Haifa, Israel
^c IB Labs Inc., 137 West End Ave, Brooklyn, NY, 11235 New York, USA
^d Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, 2829-516 Caparica, Portugal
^e Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
^f School of Physics and Technology, Wuhan University, 430072 Wuhan, China

Аннотация: Предложены пути разработки и конструирования простого в изготовлении и компактного ускорителя положительных ионов металлов с разной кратностью заряда в диапазоне энергий 1–500 keV. Такой ускоритель будет пригоден для проведения исследований и прикладных работ в области передовых ионно-лучевых технологий. Компьютерное моделирование траекторий движения ионных пучков в ускорителе с использованием программного кода SIMION 8.0 подтвердило перспективность предлагаемого подхода.

Ключевые слова: ускорители, многозарядные ионы, имплантация, ионно-лучевые технологии, компьютерное моделирование, переходные и редкоземельные металлы.

Поступила в редакцию: 09.05.2020
Исправленный вариант: 30.06.2020
Принята в печать: 30.06.2020

DOI: 10.21883/JTF.2021.01.50282.161-20