RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1854–1859 (Mi jtf5152)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическое материаловедение

Морфология и состав дефектированных массивов ниобиевых оксидных неоднородностей, сформированных анодированием двуслойной системы Al/Nb

А. Н. Плиговкаa, П. А. Юнинb, А. В. Гогаa, С. А. Королевb, Г. Г. Горохa, Е. В. Скороходовb

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск, Беларусь
b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Работа посвящена рентгеноструктурному исследованию дефектированных массивов ниобиевых оксидных неоднородностей (НОН) и наностолбиков оксида ниобия, сформированных электрохимическим анодированием. Полученные результаты позволили сделать предположение о вероятностном наличии значительного количества NbO, NbO$_{0.7}$, Nb$_{2}$O$_{5}$ и небольшого количества NbO$_{2}$, и Al в составе дефектированных НОН и присутствие всех перечисленных веществ в составе наностолбиков оксида ниобия кроме NbO$_{0.7}$, но в меньших количествах. Сравнительный анализ состава НОН и наностолбиков позволяет выделить, вероятно, значительное количество Nb$_{0.94}$O$_{0.06}$, Nb$_{6}$O в дефектированных наностолбиках, чего не было обнаружено у НОН.

Ключевые слова: анодный оксид алюминия, электрохимическое анодирование, оксид ниобия, наностолбики оксида ниобия, рентгенофазовый анализ.

Поступила в редакцию: 28.04.2020
Исправленный вариант: 28.04.2020
Принята в печать: 28.04.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49974.149-20


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2020, 65:11, 1771–1776

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024