RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 11, страницы 1913–1916 (Mi jtf5161)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

XXIV Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 10--13 марта 2020 г.
Физическая электроника

Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов

М. В. Зоринаa, И. И. Кузнецовb, М. С. Михайленкоa, О. В. Палашовb, А. Е. Пестовa, Н. И. Чхалоa

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Исследовано качество подготовки поверхности различных лазерных материалов с целью создания композитных элементов. Показано, что плоскостность образцов должна быть не хуже чем $\lambda$/10, а шероховатость – не больше 1.0 nm. Найдены параметры ионного травления, которые не приводят к деградации шероховатости – ионы Ar, $E_{ion}$ = 800 eV и угол скольжения $\theta$ = 5$^\circ$. Созданы композитные элементы из алюмоиттриевого граната, легированного ионами иттербия (Yb:YAG), а также магнитоактивного кристалла TGG (тербий-галлиевый гранат) с монокристаллами сапфира.

Ключевые слова: шероховатость, ионное травление, алюмоиттриевый гранат, иттербий, монокристаллы сапфира.

Поступила в редакцию: 12.04.2020
Исправленный вариант: 12.04.2020
Принята в печать: 12.04.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.11.49983.126-20


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2020, 65:11, 1828–1831

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024