Квантовый выход кремниевого лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 120–170 nm

Разработан кремниевый лавинный фотодиод для регистрации вакуумного ультрафиолета. Проведено исследование внешнего квантового выхода кремниевого лавинного фотодиода в диапазоне длин волн 120–170 nm. Показано, что лавинный фотодиод обладает внешним квантовым выходом 24–150 electron/photon при напряжении обратного смещения 230–345 V соответственно. Тестирование разработанного лавинного фотодиода импульсной засветкой на длинах волн 280 и 340 nm продемонстрировало быстродействие, соответствующее полосе пропускания не меньше 25 MHz.