RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 2020, том 90, выпуск 7, страницы 1209–1212 (Mi jtf5268)

Физическая электроника

Электроды вакуумной камеры под действием дуги в зоне взрывного плавления

А. И. Кудюкин, М. Н. Махмудов, Е. Н. Моос, В. А. Степанов

Рязанский государственный университет имени С. А. Есенина

Аннотация: Сплавные системы Cu(60%)–Cr(40%) после многократного воздействия дугового вакуумного разряда обнаруживают изменение атомной концентрации меди (с 53.7 до 71.8 at.%) и соответственно хрома. Масс-спектрометрия показала наличие в остаточной атмосфере диффузионных приборов фрагментов молекул типа C$_{x}$H$_{y}^{+}$ и молекул, десорбируемых со всех деталей камеры, ионы остаточного газа (CO$_{2}^{+}$, H$_{2}$O$^{+}$, N$_{2}^{+}$, N$^{+}$ и их полиатомные композиции). Обнаружено наследование технологических примесей от предшествующих операций в масс-спектре.

Ключевые слова: вакуум, технологии, дугогасительная камера, масс-спектр, дуга, электроды, эрозия.

Поступила в редакцию: 11.12.2019
Исправленный вариант: 11.12.2019
Принята в печать: 27.01.2020

DOI: 10.21883/JTF.2020.07.49458.396-19


 Англоязычная версия: Technical Physics, 2020, 65:7, 1163–1166

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2025