Зависимость энергетического распределения распыленных атомов от закона межатомного взаимодействия

Проведен расчет энергетического распределения атомов, распыленных при бомбардировке твердого тела ионами. Теоретическое рассмотрение основано на решении системы двух уравнений переноса методом дискретных потоков. Показано, что при малых энергиях распыленных атомов их энергетическое распределение описывается универсальной формулой, содержащей единственную постоянную. Значение постоянной увеличивается с ростом массы ионов и уменьшается при переходе от резерфордовского взаимодействия к взаимодействию по закону твердых сфер.