Диагностика пучков заряженных частиц методом фазовых диаграмм

Для определения качества фокусировки заряженных частиц в ионно-оптических устройствах предложено использовать метод фазовых диаграмм. Фазовые диаграммы с нелинейными контурами указывают на нелинейность фокусировки пучка частиц, причем наглядно наблюдается величина апертуры, при которой появляется и усиливается нелинейность. Это открывает возможность проектирования линейно фокусирующих линз или корректоров аберраций, компенсирующих нелинейности оптики.