Н. А. Дюжев, Г. Д. Демин, Н. А. Филиппов, И. Д. Евсиков, П. Ю. Глаголев, М. А. Махиборода, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, С. В. Филиппов, А. Г. Колосько, Е. О. Попов, В. А. Беспалов, “Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов”, ЖТФ, 2019, том 89, выпуск 12,страницы 1836

Эта публикация цитируется в 12 статьях

XXIII Международный симпозиум Нанофизика и наноэлектроника, Нижний Новгород, 11-14 марта 2019 г.

Разработка технологических принципов создания системы микрофокусных рентгеновских трубок на основе кремниевых автоэмиссионных нанокатодов

Н. А. Дюжев^a, Г. Д. Демин^a, Н. А. Филиппов^a, И. Д. Евсиков^a, П. Ю. Глаголев^a, М. А. Махиборода^a, Н. И. Чхало^b, Н. Н. Салащенко^b, С. В. Филиппов^c, А. Г. Колосько^c, Е. О. Попов^c, В. А. Беспалов^a

^a Национальный исследовательский университет "МИЭТ"
^b Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
^c Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург

Аннотация: Обсуждены технологические перспективы создания системы микрофокусных рентгеновских трубок с применением кремниевых автоэмиссионных нанокатодов. Проведен численный анализ автоэмиссионного тока с наноразмерного полупроводникового катода, регулируемого напряжением на сеточном электроде, на основе чего предложена схема управления элементами матрицы автоэмиссионных катодных узлов. Измерены вольт-амперные характеристики кремниевых автоэмиссионных нанокатодов, которые демонстрируют хорошее согласие с предполагаемыми теоретическими оценками автоэмиссионного тока. Проведен полный технологический цикл разработки элементов микрофокусных рентгеновских трубок – набора автоэмиссионных катодных узлов и набора анодных узлов. Полученные результаты могут быть использованы при создании систем микрофокусных рентгеновских трубок для нанолитографического оборудования нового поколения.

Ключевые слова: автоэлектронная эмиссия, мягкое рентгеновское излучение, матрица автоэмиссионных катодных узлов, микрофокусная рентгеновская трубка, кремниевые полевые нанокатоды.

Поступила в редакцию: 28.03.2019
Исправленный вариант: 28.03.2019
Принята в печать: 15.04.2019

DOI: 10.21883/JTF.2019.12.48479.137-19