Влияние науглероживания вольфрама на активацию газа при синтезе алмазных структур

С целью развития газоструйного метода осаждения алмазных структур исследовано течение смеси водорода с метаном через коаксиальные нагретые вольфрамовые цилиндрические каналы со встроенной в них вольфрамовой спиралью. Основное внимание уделено исследованию науглероживания вольфрамовых поверхностей при газоструйном осаждении и влиянию науглероживания на скорость осаждения и морфологию осаждаемых покрытий. Проведена серия экспериментов по исследованию науглероживания вольфрамовых поверхностей при разных условиях подачи смеси водорода и метана. Проведено прямое статистическое моделирование течения смеси. Определены возможные пути попадания метана и его фрагментов на поверхность спирали.